Proforma 300SA
- セミオートタイプのウエハ厚さ測定器
- ソフトウェアのスタートボタンを押すだけの簡単な操作で、ウエハの全面スキャニング測定が可能
- 厚さ、TTV、BOW、WARP、サイト/グローバルフラットネスの５種の測定が可能
- 150～300mmΦ、～210mm角までのサイズのウエハに対応
- アズカット、ラップ、エッチド、ポリシド、パターン形成など幅広いウエハタイプの厚さ測定に対応
Proforma 200SA
- セミオートタイプのウエハ厚さ測定器
- ソフトウェアのスタートボタンを押すだけの簡単な操作で、ウエハの全面スキャニング測定が可能
- 厚さ、TTV、BOW、WARP、サイト/グローバルフラットネスの５種の測定が可能
- 75～200mmΦ、～156mm角までのサイズのウエハに対応
- アズカット、ラップ、エッチド、ポリシド、パターン形成など幅広いウエハタイプの厚さ測定に対応
Proforma 300
- マニュアルタイプのウエハ厚さ測定器
- 厚さ、TTV、Bowの３種の測定が可能
- 50～300mmΦ、～210mm角までのサイズのウエハに対応
- テフロンコーティングステージ採用で、ウエハにキズがつきにくく、簡単に位置調整が可能
- 測定結果データは、PCなどにデータ転送や印刷出力に対応（RS-232Cポートを使用）
PV-1000
- 組込用 ウエハ厚さ測定モジュール
- デフォルトで１ライン測定、オプションで最大３ライン測定までのプローブを搭載
- TTV、ウエハBow測定が可能（※オプションの３ライン測定プローブが必要）
- 統合データ収集機能と制御エレクトロニクス機能を搭載
- 既存のウエハ搬送設備との通信用デジタルI/Oインターフェース
